光化学反应的本质也同化学反应样。用高能紫外光分解恶臭气体，使其分子键裂解转变成无臭气体，也就是意味着要切断恶臭分子的分子链.要切断恶臭分子的分子链，就要使用比恶臭分子的结合能强的光子能。
波长较短的紫外线其光子能量越强，如，波长为170nm的紫外线，其光子能量为700 KJ/mol，波长为253.7nm的紫外线，其光子能量为472 KJ/mol，波长为365nm的紫外线，其光子能量328 KJ/mol等等，像这些波段的紫外线它们能量当都比大多数恶臭气体的分子结合能强，所不同的是，波长在200nm以下的短波长紫外线能分解O2分子，生成的O*与O2结合生成臭氧O3。
   用这种方式获得的臭氧，因获得复合离子光子的能量后，能为迅速地分解，分解后产生氧化性更强的自由基O、OH、H2O等。O、OH、H2O与裂解后的恶臭气体原子发生系列协同、氧化反应，恶臭气体终被氧化降解为低分子物质如：水和CO2，SO4、等等，而达到终的脱臭净化目的。